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16
2.2 ???????-SAW??????(2)
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HAZMATCADTM PLUS
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?? ?? 20 120 20 120 / 30 30 20 25 60 45 15
GB 1 mg/m30.19ppm HD 1mg/m30.15ppm
17
2.2 ???????-SAW??????(3)
??????????????? ??????SAW??1????,
?0.5ppm???????2000Hz?
Detection of GB and DMMP Vapors by Love Wave
Acoustic Sensors Using Strong Acidic Fluoride
Polymers IEEE Sensors Journal, 2004, 4479-488
18
2.2 ???????-??????
19
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20
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2.4 ?????-????
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25
2.4 ?????-????

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• UC Berkeley?25???????? Sens IT ??
• 19992004?????????? SeaWeb ???
• ??2001?????????????????
• 2002?10?24???????? ??????????????????
• RICE???? Gnomes ?????
• Crossbow ???? MICA ????

26
2.4 ?????-?????????????

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27
2.5 MEMS???-????

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28
MEMS Technology Timeline
2.5 MEMS???-????(?)
29
2.5 MEMS???-????(?)

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30
2.5 MEMS???-????

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• ?????Eurimus???Europ ractice????1993??,????8
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• 1995????????????,????????????
• 15????2002???????380???,??????1?????

31
2.5 MEMS???-??MEMS??
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32
2.5 MEMS???-??MEMS??

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2.5 MEMS???-??MEMS??
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2.5 MEMS???-??MEMS??
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2.5 MEMS???-??MEMS??
36
2.5 MEMS???-????

• ???????????????????????????,????????????????????,
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37
2.6 ?????-????
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2.6 ?????-????

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39
2.6 ?????-????

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• 2003?7?,????Rensselaer?????????????????????,??????
  ??????????????????????????????????NH3?CO2?N2?O2?He
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40
2.6 ?????-???????????(1)
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2.6 ?????-???????????(2)
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42
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44

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45
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