Title: MICROSCOPIA ELETR
1MICROSCOPIA ELETRÔNICA DE VARREDURA (MEV)
SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM)
- UMA INTRODUÇÃO
- O QUE E O MICROSCÓPIO ELETRÔNICO?
- COMO FUNCIONA?
- COMO OCORREM AS INTERAÇÕES?
- O QUE SE PODE OBTER COM O MEV?
- COMO PREPARAR AS AMOSTRAS?
- QUAIS AS APLICAÇÕES NA GEOLOGIA?
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4PRINCÍPIO DE FUNCIONAMENTO DO MEV
SUAS PARTES Coluna do microscópio - Canhão
eletrônico Emissão termoeletrônica (Leo
430i) Catodo de LaB6 Canhão de emissão de
campo - Lentes magnéticas - Aberturas - Sistema
de varredura Porta amostra Sistema de
vácuo Detetores Detetor de estado sólido (SiLi)
para os raios X Detetor de estado sólido anular
para os elétrons retroespalhados Fotomultiplicado
ra para os elétrons secundários Monitor (Tubo de
raios catódicos) Computador Interface Impressora
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9INTERAÇÃO ELÉTRON MATÉRIA
Tipos de Interação
Radiações que escapam da superfície da amostra
Elétrons secundários Elétrons retroespalhados Elé
trons Auger Elétrons não canalizados Luz
(catodoluminescência) Raios X característicos
Raios X do espectro continuo
Interações dentro da amostra
Pares elétrons buraco Corrente absorvida
Informações de elétrons transmitidos
Elétrons transmitidos (caso de amostras
finas) Elétrons difratados
10Modos de Imagens no MEV Þ Imagem formada a
partir dos elétrons secundários (SE) Þ Imagem
formada a partir dos elétrons retroespalhados
(BSE) Þ Imagem formada a partir da corrente na
amostra (SC) Þ Imagem formada a partir dos
elétrons transmitidos (TE) Þ Imagem formada
pela corrente induzida pelo feixe de elétrons
(EBIC) Þ Imagem formada Catoluminescência
(CL) Þ Imagem formada por meio de Onda
acústico-termal (TAW) Þ Imagem formada a
partir dos elétrons retroespalhados difratados
(BSED ou linhas Kikuche) Þ Imagem formada a
partir dos raios X característicos (TRIX) Modos
de analise no MEV o Qualitativo o
Semi-quantitativo Quantitativo
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17Identificação dos picos
O sinal (pulso) é processado, convertido a
voltagem V em sinal digital para representar os
raios X no espectro
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22Detetor de elétrons secundários
23Detetor de eletrons retroespalhados
topografico
composicional
24Detetor de raios X
25APLICACOES
- Paleontologia
- Morfologia de fóssil
- Classificação de micro-fósseis
- Sedimentologia
- Morfologia de grãos individuais e relação de
intercrescimento - Tipos de cimentação
- Mineralogia
- Morfologia do cristal em micro-escala
- MEV EDS
- Identificação mineral via informação
composicional - Zonação
- Localização de fases raras
- Etc.
26Distancia de trabalho
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