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  RAMANOR U-1000, ????????????? ???????????,
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??????
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SRIM

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8
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9
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Sb ? Si 350???, 3,51016 ??-2 In ? Si
350???, 3,51016 ??-2 T??? 500?
10
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11
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As ? SiO2(40 ??)/Si 170???, 3,21016 ??-2 In
? SiO2(40 ??)/Si 250???, 2,81016 ??-2
????? 1050?, 3 ???. ? ?????
??????
12
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????????????????? ? SiO2(40 ??)/Si ??? 5000? ?
???????????? ??????? ?? ?????? ?????-????? ?
??????? ????????? SRIM

• ??????? ????????????? In ? SiO2(40 ??)/Si
  250???, 2,81016 ??-2

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????????????????? ? SiO2(40 ??)/Si ??? 5000? ?
???????????? ??????? ?? ?????? ?????-????? ?
??????? ????????? SRIM

• ??????? ????????????? As ? SiO2(40 ??)/Si
  170???, 3,21016 ??-2

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4,2 K
As ? SiO2(40 ??)/Si 170???, 3,21016 ??-2 In
? SiO2(40 ??)/Si 250???, 2,81016 ??-2 T???
500? , T??? 1050 ??, 3 ???
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  ? ????? As ? In) ? ???????? ?? ????????????
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  ? ?????????????? ????????? SRIM.
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  ???????? ? ??? ??????? ?????? ?????????? ???????.
  ?????? ???????? ??????? ??? In.
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  25 ???, ?. ?????).

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