PHUONG PH

About This Presentation

Title:

PHUONG PH

Description:

... .3 Ph n x Magnetron Slide 12 Slide 13 Slide 14 Slide 15 Slide 16 Slide 17 Slide 18 Slide 19 e/ B ph n Magnetron Slide 21 f/ Plasma: ... – PowerPoint PPT presentation

Number of Views:207

Avg rating:3.0/5.0

Slides: 36

Provided by: THA125

Category:

more less

Transcript and Presenter's Notes

Title: PHUONG PH

1
(No Transcript)
2

PHUONG PHÁP PHÚN X? MAGNETRON RF TRONG CH? T?O
MÀNG M?NG

GVHD PGS. TS. Lê Van Hi?u H?c viên Phùng Nguy?n
Thái H?ng
3
N?I DUNG

I. PHUONG PHÁP PHÚN X?
I.1 Phún x? là gì ?
I.2 H? s? phún x?
I.3 Phún x? Magnetron
II. PHÚN X? MAGNETRON RF
II.1 Khái ni?m
II.2 C?u t?o
II.3 So d? ho?t d?ng
II.4 Nguyên t?c ho?t d?ng
III. KHÓ KHAN TRONG PP RF
IV. SO SÁNH PHÚN X? MAGNETRON RF V?I DC

4
I. PHUONG PHÁP PHÚN X?

I.1 Khái ni?m v? phún x?

5
Hình ?nh mô t? S? Phún x?
Ð?
Ar
BIA
5
6
I.2 H? s? phún x?
s là h? s? phún x? na là s? nguyên
t? b? phún x? ni là s? ion d?p vào b? m?t
cathode
7

H? s? phún x? s ph? thu?c vào
B?n ch?t c?a v?t li?u phún x?
Lo?i ion và nang lu?ng c?a ion b?n phá lên bia
Góc d?p c?a ion lên b? m?t cathode
Ph? thu?c vào áp su?t khí làm vi?c

8
S? ph? thu?c c?a m?t s? lo?i v?t li?u làm bia vào
s? phún x?
9
?nh hu?ng c?a nang lu?ng ion vào s? phún x?
10
S? ph? thu?c góc t?i vào s? phún x?
H? s? phún x? d?t giá tr? cao nh?t ? vào kho?ng
góc t?i có giá tr? 720
11
I.3 Phún x? Magnetron
12
II PHÚN X? MAGNETRON RF

II.1 Khái ni?m

II.2 C?u t?o h? phún x? Magnetron RF
13
a/ Bu?ng phún x?
14
b/ M?t s? lo?i d? dùng trong h? phún x?
Ð? Ceramic (g?m)
15
Ð? Silicon
Ð? th?y tinh
16
c/ Bia
17
(No Transcript)
18

d/B? ph?n t?o chân không Thu?ng dùng 2 lo?i bom
Bom so c?p (bom rote ho?c bom quay d?u)
Bom khu?ch tán

M?t s? thông s? c?a bom chân không dùng trong h?
phún x? Magnetron
Bom so c?p (Bom Rote,bom quay d?u)
T?c d? 30 m3/h.
Áp su?t t?i h?n 10-2 torr
Bom khu?ch tán
T?c d? 200 l/sec
Áp su?t t?i h?n 10-10 torr
Chân không phún x?
Chân không t?i h?n 10-7 torr
Chân không làm vi?c 10-2 ? 10-3 torr

20
e/ B? ph?n Magnetron
21
C?u trúc c?a m?t s? h? Magnetron thông thu?ng
22
f/ Plasma
23
Vùng plasma gi?a 2 vùng t?i
24
So d? c?u t?o và nguyên lý ho?t d?ng c?a phún x?
Magnetron RF
25
II.3 So d? c?a h? phún x? Magnetron RF
26
Th? RF t?i cathode
27

SO Ð?
Bia Ðu?c g?n vào m?t b?n gi?i nhi?t. B?n gi?i
nhi?t du?c g?n vào cathode
T? tru?ng do m?t vòng nam châm bên ngoài bao
quanh và khác c?c v?i nam châm ? gi?a. Chúng du?c
n?i v?i nhau b?ng m?t t?m s?t, có tác d?ng khép
kín du?ng s?c t? phía du?i
Ð? Ðu?c áp vào di?n c?c anode

28
So d? m?t h? Magnetron
29
II.4 Nguyên t?c ho?t d?ng
Ð?
tAr
Ar
e-
KhíAr
Ar
Ar
Ar
e-
13.56MHz
Khí N2
N
Ar
N
tN
Khí bên ngoài
Bom CKhông
S N S
30
Ð?c trung c?a vùng phún x?
Vùng IVùng s?t th? Cathode Vùng IIVùng ion
hóa Vùng IIIVùng plasma
31
Hình ?nh v? s? phún x?
32
III. KHÓ KHAN TRONG PHUONG PHÁP PHÚN X?
MAGNETRON RF

Áp su?t th?p,kho?ng t? 5-15 mTorr. Ði?u này dòi
h?i ph?i hút chân không cao
S? electron theo th?i gian tích t? nhi?u trên b?n
c?c làm h?y s? tái phún x?
Ion duong d?p vào phá h?y màng

33
IV. SO SÁNH GI?A PHÚN X? MAGNETRON RF VÀ DC
Phún x? DC
Phún x? RF
Không s? d?ng tr?c ti?p cho các v?t li?u di?n môi
Có th? s? d?ng cho các v?t li?u di?n môi,kim lo?i
và bán d?n
Ho?t d?ng ch? y?u là d?a vào th? hi?u d?ch
Ho?t d?ng ch? y?u là d?a vào electron b? b?t ra
do ion duong b? va d?p vào di?n c?c
Vùng t?i cách di?n gi?a d? và vùng plasma làm
cho ch?t lu?ng màng t?t
B? d?p t?t ngu?n
34
TÀI LI?U THAM KH?O

M?t s? sách và lu?n van
1 Tr?n Ð?nh Tu?ng, Màng m?ng quang h?c,NXBKHKT
Hà N?i,2004
2 Võ Th? Kim Chung,Lu?n van Th?c si Khoa H?c T?
Nhiên, T?ng h?p màng m?ng TiO2 B?ng pp phún x?
Magnetron-m? ion,Tru?ng ÐH KHTN TPHCM,1999
3 ThS Vu Th? H?nh Thu,các bài gi?ng v? V?t Lý
Màng M?ng,Tru?ng ÐH KHTN TPHCM
4 Lê Phuong Ng?c,Nguy?n Th? Thu Th?o,Khóa Lu?n
T?t Nghi?p
5 Nguy?n Ng?c Thùy Trang,Khóa Lu?n t?t nghi?p
6 Lê Vu Tu?n Hùng,Nguy?n Van Ð?n,Hu?nh Thành
Ð?t,Nghiên c?u ch? t?o màng m?ng TiO2 b?ng phuong
pháp phún x? Magnetron RF,T?p chí phát tri?n
KHCN ,t?p 9,s? 6/2006