Slide sem t

1
Dispositivos para Sistemas Ópticos
2
Micro-Espelhos

• fixos e móveis
• horizontais e verticais

3
Chaveamento Óptico
Estrutura mecânica ressonante
4
Micro-Estruturas Mecânicas
5
Estrutura Comb Drive
massa móvel

• acelerômetro
• filtro mecânico
• atuadores ressonantes

parte fixa
y
x
6
(Micro-) Motores e Engrenagens
7
Micro-Fluídica

• Válvula (surface / back-side bulk
  micromachining)

• Bomba de Propulsão (processo híbrido)

fluxo
fluxo
entrada
fechada
fluxo
saída
aberta
8
Componentes para Circuitos Microondas
9
Linha de Transmissão
linha metálica
plano de massa
10
Indutor Espiral Planar
11
Indutor Espiral Planar...

• Membrana

open areas

• Linhas Isoladas

12
Transformadores Planares

• Cp Cs
• 40fF ? 15fF
• Cm
• 200fF ? 80fF

13
Modelagem e CAD
Formulação Matemática
14
Linguagem de Descrição de Hardware
Analógico HDL-A Spectre-HDL VHDL 1076.1 VHDL-AMS
LIBRARY conserved_systems USE
conserved_systems.nature_pkg.ALL ENTITY
piezopress_equ IS GENERIC (h real
17e-6 -- plate thickness
a real 1e-3 -- plate side
length r0 real
-- nominal resistance
rs real) --
sensitivity PORT (TERMINAL fp fluid
-- fluidic pin
TERMINAL ep electrical) --
electrical pin END ENTITY piezopress_equ ARQUIT
ECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT
e0 real 146.9e9 -- Si elasticity
N/m2 CONSTANT v0 real 0.1846
-- Si Poissons ratio CONSTANT df real
e0h3/(12(1-sqr(v0)) -- rigidity
QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground
QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd
QUANTITY w11 real --
deflection coefficient BEGIN (w11/h)3
0.2522w11/h 0.000133pa4/(dfh) i
v/(r0 rs2.52231.5895e9w11) END ARQUITECTURE
equ
Sensor de pressão piezo-resistivo
15
Simuladores de Usinagem
16
Conclusão

• Área de desenvolvimento promissora
• Identificação de aplicações potenciais
• Criatividade na criação de dispositivos
• Equipes de trabalho multi-disciplinares

17

• Fotos
• Sandia National Laboratories
• MCNC MEMS Technology Applications Center
• TIMA Laboratory - INPG
• University of Wisconsin - Madison
• Journal of Microelectromechanical Systems