31a-P20-10

1
????????????????????
31a-P20-10

• ???????
• ??????? ?

2
??(1)

• ??????????????????????????????????????
• ????????????????eV????????????
• ?????????????????????????????????????????????????
• ??????????????????????????????

3
??(2)

• ??????????????????????????????????????????????????
  ?
• e.g. Throwing Distance (??????)
• Al 5.9 Pa cm
• Cu 8.3 Pa cm
• Mo 11.7 Pa cm
• ?????????????????????????????????????????????????

4
????

• ????? ?????? (Inficon ??)
• Center ????
• Edge, Back ????28mm
• ?????? 50mm
• ?????????? f1028mm (??? f22mm)
• ??????? 210mm

5
??????

• ????? Al(27), Cu(63.5), Mo(96)
• ???? Ar(40) ()????????
• ???? Ar 10 sccm
• ???? 0.416 Pa
• DC ?? 50 W

6
??????????????

• ???????
• ????
• ????? (400K)??????
• ????????? 1
• ???????
• ?? ????????????????
• Energy,?? Thompson ???cosine ??
• ??????
• ?????? Maxwell ??
• ?? Born-Mayer??????? ( U(r)Aexp(-br) )
  ???????
• ????
• Poisson ?????????????
• ????? ?? 45 (2002) 699.

7
??

• ?? ???????????
• ? ???? (T-S 40 mm)
• ? ? (T-S 60 mm)
• ?? MC ???? (T-S 40 mm)
• ?? ? (T-S 60 mm)
• ??
• MC????????????????????????????????????????????????
  ??? (Cu)?

8
??????(Cu,T-S 40mm)
9
Back/Center ?
10
Edge/Center ?
11
Back/Edge ?
12
??????(Cu,T-S 60mm)
13
??(1)

• ????????????????
• ?? ?????????????????????????
• ?? ????????????????????????????????????????????
• ?? ?????????????????????????????????????????????
  ??????????????????
• ?????????????????????????? pumping out ??????

14
??(2)

• ???????
• ???? Al, Cu, Mo ???????????????????????????????Th
  rowing Distance ???????
• ?????????????????????????(??????????1???)?
• ?????-????????
• T-S???????????????????????????????????????????????
  ???B/C??E/C????????

15
????(???)
16
???

• ??????????????????????????????????????????????????
  
• ???????????????????????????????????????
• ??????????????????????????????????????????????????
  ?????????????