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9
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11
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12
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13
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14

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  ,????????????,??????????????????
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17
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?????????????????????????????,???????
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18
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???????,?????????????????????????? (?????????????
??????????,?????????????,LA??????????????)
????????,?????????????????????,?????????????????
??????????????????,?????????????????????
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2Cu3O7??????????????????????,????????????
??
19
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deposition ???EB??????X-ray??)
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20
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21
?????????? ????????,???????????????,??????????
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???,??????????????????????????????????????????????
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23
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??????????????????????,???????????????,???????????
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24
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??????????,??????????????????,???????????????,????
????????????????????,?????????????
25
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?? ??????(C) ????? ???? ??????????nm/s
Al 1010 ??? BN 2
Cr 1157 ?? W 1.5
Cu 1017 ??? ??,Al2O3 5
Ge 1167 ??? ?? 2.5
Au 1132 ??? BN, Al2O3 3
Fe 1180 ??? Al2O3 5
Pb 497 ??? Al2O3 3
Mg 327 ?? ?? 10
Mo 2117 ??? -- 4
Pt 1747 ??? ?? 2
Si 1337 ??? B2O3 1.5
??
26

• ??????(sputtering deposition)
• ????????????????,?????????????????
  ?????????,?????????????????????????,??????????????
  ????????????????????????????????,??????????????,??
  ??????????????????,???????????????????????????????
  ??????????????????????????????
• ?????????
• ???????
• ??????

27
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??????????,?????,?????????????????????????,???????
???????????????????????,???????????,??Ar?????????,
??????10-1-10Pa????????????????,??????????????????
Ar????Ar????????????,????????,
?????Ar???????????????????????,??????????????????
????????????????????????,??????????????
????,??????????????,????????????
28
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R??????????????????? VE-IR ??????Ar??????1Pa,??
??????????????????????????????????????????????,???
????????????????????,??????????????,?????????????,
?????????????????,????????????,???????????????????
???????????,????????????,??????????,??????????????
????????????,?????????????????????????????????????
?,????????????????????,???????????????,???????????
?????????,??????????????,????????????????????????,
?????????,??????????????Townsend
discharge?????????,???????????????,???????????????
????????????,?????????????(Corona discharge)
29
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???????,??????????????????????,???????????????????
??,????????????????????????????????????,??????????
?,?????????????,???????????(???????)
????????????????????????,??????,??????????????????
???????????????,?????????????????(???????)????????
???????????????? ?????????,??????????????,??
???????,????????????
30
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??2
31
???? ???????????????????????????????????????????
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?????(????1000keV)??????????(1MeV)??
32
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?????????????????
33
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????10kev?????????????????????????????.?????????10
0kev???????.
34
(No Transcript)
35
(No Transcript)
36
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????(3)????(4)?????
37
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??????? ???????????,????????,??????????????????
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???,???1Pa????????????????????????????????
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?????????,???????????????????????????,????????????
??????????????,??????????????,?????????,?????????(
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,??????????????????????????????,????????????
38
(No Transcript)
39
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????????????????????????,?????????????????
?????????????????????????,????????????????????????
?,???????????????????????,????????????????,???????
?????? ????????????????????????????????3.1
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???????????,??????????????????????????????????????
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?????50kHz??,?????????????????,????????????????
??????????????????????,???????????????????????????
???,?????????????????????,??????????????????,?????
?????????????????? ????,????????????????????,??
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z? ??????????????????????????????????????,?????
???????,??????????????,????????????????????
40
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??,??c?d???????????C??????????????,???????????????
?,??????????,?????????3.4?????????????????????????
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41
(No Transcript)
42
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??????????????,?????????????????,???????
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????,???v??????E???????B??????????????  F-q(E
vB) ??q???????????????????,?E?v?B??????,??????????
????v???B???????,????????????????,???????????????
????????????????????????,??????????????????,??????
?????????????????????????
???????????????????3.12???????????????????????????
??????,??????????????????,????????????,???????????
???????????????????????????,????????????,?????????
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43
(No Transcript)
44
??????,??????????????????????????????,???
??????,?????????????????,?????????????????????????
???????? ??,???????????????????,?????????
???????????????????????????????????
??????????????????????????????????????,???????????
????????????????????????,???1Pa???10-1
Pa???????????????,????????????????????,???????????
????????
45
??
?????? ???????(PVD)??????????????????????????(CVD
)?????,CVD????????????,????????????????????????? ?
???,CVD???????????? 1 ??????????????? 2
?????????? 3 ??????????? ???????????????,???????
?????,??????????????????????????????CVD?? 1
?????CVD 2 ??CVD(LPCVD) 3 ??????CVD(PECVD)
46
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?????CVD
?????????????,?????????????,??????????????
,????????????????????????????????????,????????????
???????????????? ????????????,????????????
??????????????????????????????????????????????????
?,?????CVD??,???????????????????,?????CVD?
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,?????CVD?????????????????????????????????????????
??????????????????,????????????????,??????????????
??????????????,???????,??????????????????
???????,??CVD??????????,?SiO2?Si3N4??????CVD?????
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47
(No Transcript)
48
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??CVD(LPCVD)
??? ????(??0.1013MPa)???????CVD????CVD,????,??????
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????????????????CVD??,??CVD??????????100Pa??,?????
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????????????????????????????CVD?????,??????CVD????
???????????????????????????
49
??????CVD
????????????????,?????????????????????????
??CVD????PECVD?,???????5-500Pa???,?????????109-101
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??PECVD?????????????????????,?????????????????????
????????????????,?????????????????????CVD?????????
?,???????????????????,????????????????????????????
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VD?????900???,???CVD?????750??????,???PECVD?????30
0?????????Si3N4??????????????,?????????????,??????
??????,?????????????30nm/min.
?????PECVD????,????????????????,??????????????????
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(No Transcript)
51
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