Title: Caracteriza
1 Caracterização térmica de filmesde cobre por
termo-refletância Carolina Abs
2Por que determinar a condutividade térmica de um
material?
3- Principais métodos analisados para determinação
da condutividade térmica - Método Laser-Flash
- Mirage
- 3 ?
- Termo-refletância.
4Determinação da condutividade térmica
perpendicular ao plano do filme através do método
Laser-Flash, considerando o modelo unidimensional
de condução de fluxo de calor
5t1/2 é determinado através do gráfico obtido
experimentalmente2
Em que a é a difusividade térmica, L é a
espessura e t1/2 é a metade do tempo necessário
para que o corpo atinja sua temperatura máxima.
6a difusividade térmica (m2/s) ? condutividade
térmica (W/mK) r densidade (Kg/m3) c calor
específico (J/Kg K)
7- Dificuldades encontradas
- Detector suficientemente rápido para o
comprimento de onda - O transiente de temperatura é medido atrás do
substrato.
8Mirage
9(No Transcript)
10(No Transcript)
11(No Transcript)
12- Dificuldades encontradas
- Medidas estão muito próximas do limite de
sensibilidade do método - A condutividade do ar acima do filme diminui a
sensibilidade de detecção - Sensor de posição.
13Método 3 ?
14(No Transcript)
15- Dificuldades encontradas
- Envolve preparação da amostra
- Alta uniformidade da superfície
- Substrato.
16 17Em que regime ela é aplicável?
18(No Transcript)
19Teoria da Linha de Transmissão
20(No Transcript)
21 Método Stehfest
22(No Transcript)
23- Resistência térmica
- Condutividade térmica do substrato depende da
dopagem