??:??P216

1
??? ????????

• ???/???/????/???/??????/ ??/???????

???? ?????? ??????? ?????
????????,????????,?????,??????,?????????,????
2
6.1 ????????

• ????P216
• ????BCN?????BCN?

3
6.2 ????????
??????,???????????????????????

• ???????(plasma)?
• ?????????
• ???????????
• ?????????????

??PS42S5H?????
4
?????????

• ????????????????,??????????????????????????????,??
  ??????,???????????????
• ??????(??????????????),?????(???????????)
• ??????,????????????,???????
• ????Te?????????????
• ?????????E/p ? E/n?--??????--?????
•  

5


?????? ????? 1). ??????
???99??????????? ???,
????????,?????? ??????????????????
??????????? 2). ??????
?????????????????
?????(?????????
????)???????????
??????????????? ????
6
???????
1 ????????

• ?????(??????????)
• ???????????,??????
• ????????????????????
• ????????????
• ?????????,?????????????????

7

• 2 ????????
• ??????
• ???????????????(?????)
• ??????????????????????????
• ????????
• (???????????????)
• ???????????
• ???????? (???)
• X-???????

8
????????

• ??????????????1967???
• ????? Plasma Chemistry in Electrical Discharges
  
• ????????????????????????????????????????????????
  ?
•  
• ?????? ? ???? ? ????(??????????????)

9
???????????????
????
??
???
???
??
10

• ????????????
• ??????
• 1) ??( elastic ) ????, ???????
• 2) ???( inelastic ) ????, ????(?????????)??
• 3) ??(ionization) ??
• e A ? A 2e
• 4) ??( attachment ) ?? (?A?????????)
  e A M ? A- M
• ?? ( reactive) ??, ?????
• e AB ? A B e
• 6) ?? ????, ?
• ???? e AB ? A B 2e
• ???? e AB ? A- B

11
?????????????
?????

• NO2?CO????
• ???????????????
• ?????????????
• ????????

• ?????
• ????????????????????

12
??????CVD (PECVD )

• ????(lt 1.3kPa)?????????????,??????????????,???????
  CVD?????????????12????,??????????,?????????,?????
  ????????
• ???PEMOCVD,??????????,?????????????

13
??????CVD (PECVD )

• ??
• (1)PECVD?????????????????,?????????
• (2)??????????,???????,???????????????????????,????
  ???????????
• (3)??????????,????????????????PECVD??????,????????
  ?????????

14
HC-PCVD??????
HC-PCVD???????????????????????????????????????????
??,???????????,??????????,?????,??????????
15
??MW-PECVD

• ??
• ????2450 MHz????,?????
• ?????????????,???????,?????????????
• ???????????????????
• ????????????????????

??????????????,??????,???????????????????ECR-PEC
VD (electro cyclotron resonance
PECVD),?????????????????
16
ECR electron cyclotron resonance????????
17
MW-PCVD????????
MW-PCVD???????????????????????,??????????,??????
???????,??????????
????? ??????????
18
??????????(PCVD)???? (??P223-225)

• ????????????
• ???????
• ?????????TiO2
• ??????????

19

• ??????????????
• ?????????????????????? (????????)
• ????????? (PDP) (?????????)
• ??????????? (O3???,CH4??,???,????????,)
• ???????? (???????????????,VOC??,
  ???????????,??????,)
• ??????????????? (????)
• ????????????(PECVD)???????? (???,????,????,)

20
????????? (PDP)
Glass
MgO (500 nm)
Glass
Address electrode
Ag electrode
PbO, Dielectric layer (transp.)
ITO (InTin Oxide, transparent sustained
electrode)
Phosphor (RGB red, green, blue)
h 0.13mm, d 0.1 mm, 1 Pixel RGB , 1.08
mm
21
DBD discharge (200V, 160 kHz, 2 ?s Sq. W.)
? VUV (147 nm Xe, 173 nm, Xe2) ?
Phosphorescence (RGB) Ne (96) Xe (4) ,
400 Torr Ne e ? Ne Ne Xe ? Ne Xe
(Penning Ionization) Xe Xe M ? Xe2
M Xe2 e ? Xe Xe Xe ? Xe? h? Xe?
Xe M ? Xe2 M Xe2 ? Xe2 ? h?

22
PDP ?? 1). ???CRT, ??? (lt 200 V ) 2). ???LCD,
??? 3). ?????? PDP ?????? ??????? ?
Blum / Pelec Blum ???? (lm) Pelec
????? (W) CRT ? 5 lm/W PDP ? 1.5
lm/W (?????CRT, LCD, PDP, OLEDs , DLP,
E-Paper)
23
6.3 ?????

• ???????,??????????????,?????????????,????????,????
  ??????
• ?????????,???????????????????

24
(No Transcript)
25
????????????
??????CNx?????????,????????????,????????????????
???
26
????????(P227-228)

• ?????????
• PTC?????????
• SnO2???????

27
6.4 ??????

• ???????,???????????????,?????????????????????????
  ??????(????????)???????
• ????????????,??,??,??
• ????????????????,???????????

28
6.5 ?????????

• ???????????????????????,?????????????????????LPVD
  
• ????????????????????????????????-- LICVD
• ??????????????????????????????????

29
6.5 ????(????)

• ?????????
• ???,???,?????,????
• ?????????
• ?????

30
 ???????????(?) 1. ??? ???????????????
k A exp(-Ea /RT)   2. ????
????????????????? ??????????? 1).
??????????? (????? ???? ) 2).
??????????????? 3). ?????????????????
Ea
31
???????????(?) 3. ????
?????????????????(???????????)?????????,??????????
?????????,?????????,???????????   H2O hn
? OH H (DH 242 nm) (H20 ?????185 nm
??,????????????????)   RN Dixon, DW Hwang, XF
Yang, , XM Yang, Science, 285 (1999)
1249-53. ( hn 121.6 nm) 4. ????
(????????????) ????????????????????
???????? 
32
???????????(?) ????????? 1). ??? 2).
???? ?? 3). ???? ? ??
33
????(?)?????
H2
2hn
2e
2 H
SC
SC
2h H2O (??, hole)
½ O2
--------------------------------------------------
-----------------------
2H2O(g) 2hn
2H2 O2
lth 495 nm
34
??

• 1?P. 233, ??? 2,4?
• 2?5???????????????