??????? Semiconductor Manufacturing Technology

1
???????Semiconductor Manufacturing Technology

• ?????????
• ????97?????
• ???????

2
???????Semiconductor Manufacturing Technology

• Text Book
• Introduction to Semiconductor Manufacturing
  Technology
• Author Hong Xiao Mc Graw Hill
• ???????????? ?????????
• Reference Book
• Atlas of IC technologies an introduction VLSI
  processes
• By W. Maly The Benjamin/cummings Publishing
• Semiconductor Manufacturing Technology-Michael
  Quirk Julian Serda by Prentice Hall
• ??????? ??? ????
• Microchip Fabrication A Practical Guide to
  Semiconductor Processing
• Author PETER Van Zant Mc Graw Hill
• Silicon VLSI Technology Fundamentals, Practice
  and Modeling
• Author James D. Plummer, Michael D. Deal et al.
  Prentice Hall
• ULSI Technology
• Author C. Y. Chang and S. M. SZE Mc Graw
  Hill

3
???????????

• ??
• ?????
• ?????
• ?????????
• ??
• ??
• ??????
• ???????????????
• ?????
• ?????
• ??????
• ??????
• ?????
• ??????
• ?????????
• ??????????????
• 1990????????

4
???????????

• ????
• ??
• ?????
• ???????
• ?????
• ????
• ????
• ??
• ???????
• ??
• ??
• ??
• ?????????
• ??????(RTP)??
• ?????

5
???????????

• ????
• ??
• ??
• ??????
• ???????
• ???
• ???????
• ??
• ?????
• ??????
• ?????
• ????
• ????
• ???????
• ???????????????????
• ??????
• ?????

6
???????????

• ????
• ??
• ???????
• ???????
• ??????
• ???
• ?????
• ??
• ??
• ?????
• ??????
• ??(??)??
• ??????
• ????
• ?????

7
???????????

• ????????????
• ??
• ??????(CVD)
• ????????
• ????????
• ???CVD??
• ???????
• ?????CVD
• ???CVD??????
• ?????????
• ?????
• ?????
• ??
• ????
• ???????
• ?????????(CVD)
• ??????(PVD)
• ??????

8
???????????

• ??????
• ??
• ?????????
• ??????????
• ?????????
• ????????
• ?????
• ????
• ??
• ????
• ????
• ????
• ??????
• ??????
• ????
• CMOS??
• ??
• 1980???CMOS????
• ??CMOS????(1990?????)